该质量流量控制器具有高精度+/-1.0%S.P、压电致动阀、高速响应和全金属特性，适用于提高工艺产量和简化零件管理。数字/模拟、DeviceNet™和EtherCAT通信都可用。

多范围/多气体数字质量流量控制器 这是HORIBA畅销的数字质量流量控制器的型号。它具有多量程/多气体功能，使用户能够快速、方便地改变气体类型或现场满量程流速。 高精度+/- 1.0% S.P，压电执行器阀门，高速响应和全金属，这种质量流量控制器适用于提高工艺产量和简化零件管理。数字/模拟、DeviceNet™和EtherCAT®通信均可使用。 高精度±1.0% S.P. 该质量流量控制器的线性由多项式近似曲线补偿，并在所有流量控制范围内实现了高精确度。为了提高实际气体的精度，各种工艺气体的校准数据由HORIBA STEC的标准气体测量系统测量。 高速响应 安装有 "可变PID系统"，可以在任何两个设定点之间实现1秒的响应。可变PID根据流量点的设定而不断变化。这样，当满量程流量和气体发生变化时，PID系数可以得到优化。 多气体/多范围解决方案 配置软件使得快速和方便地改变规格成为可能。一个关键的特点是，无需从气体面板或管道上拆下质量流量控制器就可以进行更改。这就减少了所需的备用质量流量控制器的数量；节省了时间和成本。 质量流量控制器SEC-Z500X适用于各种应用以及半导体制造。